勻膠機(jī)主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)的微加工、生物、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域或樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜。通常固定樣品的方式有兩種：真空吸盤固定樣品、帶卡槽的樣品盤固定樣品。用真空吸盤固定樣品時需要有抽真空的裝置，真空吸附適用于固定表面光滑，平整度好，受真空吸力不變形的基片；帶卡槽的樣品盤可用于質(zhì)軟、形狀不規(guī)則的、尺寸較大的基片的固定。

　　類型

　　勻膠機(jī)又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。

　　勻膠機(jī)選購

　　從其原理來說，可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)

　　材質(zhì)的選擇

　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。

　　旋轉(zhuǎn)速度

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

　　真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機(jī)做得不錯，他們有通過聯(lián)動機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。